福田 常男 (フクダ ツネオ)

FUKUDA Tsuneo

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職名

准教授

研究室所在地

杉本キャンパス

取得学位 【 表示 / 非表示

  • 東京大学 -  工学博士

研究分野 【 表示 / 非表示

薄膜・表面界面物性

研究概要 【 表示 / 非表示

  • 半導体の表面構造と電子状態を制御し、新奇な機能を有した電子デバイスを提案する。 特に超高真空走査型トンネル顕微鏡を利用して原子レベルでのミクロな観点から研究を行っている。

研究キーワード 【 表示 / 非表示

表面科学

研究歴 【 表示 / 非表示

  • 表面構造制御とデバイス応用の研究

    (個人研究)

    研究課題キーワード:  表面、制御、機能デバイス

担当教育概要 【 表示 / 非表示

  • 学部では「固体物理学Ⅰ・Ⅱ」の講義と「電子・物理工学実験I」のアナログ回路を担当しています。 大学院では「真空工学特論」の講義をしています。産業界で広く用いられている「真空技術」を物理学的基礎から実用レベルまで、段階を追って講義します。また、特別演習(電子物理工学Ⅱ)では、前期博士課程の学生のゼミを担当しています。

所属学協会 【 表示 / 非表示

  • 応用物理学会

  • 日本物理学会

  • 表面真空学会

現在の職務 【 表示 / 非表示

  • 大阪市立大学   工学研究科   電子情報系専攻   准教授  

職務経歴 【 表示 / 非表示

  • 2001年
     
     

      大阪市立大学   助教授

  • 1990年
    -
    2001年

      日本電信電話(株)  

出身大学院 【 表示 / 非表示

  •  
    -
    1990年

    東京大学  工学系研究科  物理工学専攻 

出身学校 【 表示 / 非表示

  •  
    -
    1984年

    東京理科大学  理学部  応用物理学科

 

論文 【 表示 / 非表示

  • 低・中真空領域における排気方程式の検証

    横川 敬一, 瀬戸 泰平, 福田 常男

    公益社団法人 日本表面真空学会 表面と真空  61 ( 5 ) 292 - 295 2018年  [査読有り]

     概要を見る

    <p>We studied a pumpdown curve in the low and medium vacuum regimes for a conductance-limited pumping. Senda [H. Senda, SEI Technical Review <b>176</b>, 1 (2010).] predicted that the exponential decrease of the chamber pressure, followed by the reciprocal behavior with time near the lower limit of the viscous flow. He proposed a pressure boundary between the exponential decrease and the reciprocal decrease as a "Bifurcation pressure". We experimentally found bifurcation pressures and they quantitatively compered with the theoretical estimation. The result of our experiment agreed fairly well with values that had been obtained by the theoretical calculation.</p>

    DOI CiNii

  • First-Principles Study of Silicon-Embedded Ni(110)

    Fukuda T., Kishida I.

    E-JOURNAL OF SURFACE SCIENCE AND NANOTECHNOLOGY  15   96 - 101 2017年10月  [査読有り]

    DOI

  • Initial surface silicidation on Ni(110)

    Fukuda T., Kishida I., Umezawa K.

    SURFACE SCIENCE  659   1 - 4 2017年05月  [査読有り]

    DOI

  • 低・中真空領域での排気方程式の検討

    横川 敬一, 瀬戸 康平, 福田 常男

    公益社団法人 日本表面科学会 表面科学学術講演会要旨集  37 ( 0 )  2017年  [査読有り]

     概要を見る

    通常、排気方程式は一定の実効排気速度を仮定して計算されるが、粘性流領域ではコンダクタンスが配管出入り口の平均圧力に比例するため、真空容器と真空ポンプとの間のコンダクタンスが小さい場合 、容器内の圧力は指数関数的には変化せず、ある圧力から時間の逆数で圧力が低下する領域がある。配管のコンダクタンスの圧力依存性を含んだ排気方程式の解析解と実験で得られた排気曲線を比較した結果、比較的良い一致を示した。

    DOI CiNii

  • Ni(110)面上のCu-Ni合金の構造相関

    齋藤 猛流, 福田 常男

    公益社団法人 日本表面科学会 表面科学学術講演会要旨集  37 ( 0 )  2017年  [査読有り]

     概要を見る

    CuとNiはバルクで全率固溶体を作るが、混合エネルギーが正であるため、相分離することが予想されている。<br> 本発表では、Ni(110)表面上にCu-Niの2次元合金を作製し、STMで構造相関を測定したところ、[1 -1 0]方向にのみ正の相関があることを見出し、Ising模型と比較することによって相互作用エネルギーを導出した。

    DOI CiNii

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書籍等出版物 【 表示 / 非表示

  • 最新実用真空技術総覧

    最新実用真空技術総覧編集委員会(編) (担当: 共著 )

    株式会社 エヌ・ティ・エス  2019年02月

  • 真空科学ハンドブック

    荒川一郎ほか (担当: 分担執筆 )

    コロナ社  2017年03月

  • 「わかりやすい真空技術(第3版)」

    (真空技術基礎講習会運営委員会) (担当: 共著 )

    日刊工業新聞社  2010年05月

その他記事(Misc) 【 表示 / 非表示

  • 低真空・中真空技術の基礎と応用

    真空  58 ( 9 ) 325 - 329 2015年09月

講演・口頭発表等 【 表示 / 非表示

  • Hydrogen effect of the low-resistive ITO films on plastic substrates

    T. Fukuda, Y. Kamada, T. Maeda, and T. Shingu

    ITFPC2017  2017年10月 

  • Site Correlation of Two-dimensional Cu-Ni Alloys on Ni(110)

    T. Fukuda, I. Kishida, and K. Umezawa

    ECOSS-33  2017年08月 

  • 2次元Cu-Ni合金の構造相関

    福田常男,齊藤猛流

    日本物理学会第73回年次大会  2017年03月 

 

担当授業科目(学内) 【 表示 / 非表示

  • 特別演習(電子物理工学Ⅱ)

    (2017年度)大学院 専門科目

  • 電子・物理工学実験Ⅰ

    (2017年度)大学 専門科目

  • 特別演習(電子物理工学Ⅱ)

    (2016年度)大学

  • 真空工学特論

    (2016年度)大学

  • 電子・物理工学実験Ⅱ

    (2016年度)大学

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社会貢献活動 【 表示 / 非表示

  • 真空技術基礎講習会

    (大阪産業技術研究所)

    役割:講師

     対象:研究者, 社会人・一般, 企業 

    2017年05月
     
     

    主催者・発行元: 日本真空学会  真空技術基礎講習会 

 

交流可能研究 【 表示 / 非表示

  • 真空技術と半導体薄膜成長技術

    研究テーマ概要:産業界で広いニーズがあると思われる真空関連の技術提供。特に半導体薄膜成長法やその評価技術についての研究開発の交流が可能である。

    共同研究の希望:民間等他機関

    交流の種別:技術相談, 受託研究, 共同研究, 共同研究, 受託研究

    交流可能な時期・期間:2001-

    キーワード:走査型トンネル顕微鏡, 超高真空

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    活用分野・応用方法等:表面コーティングによる保護膜形成や薄膜トランジスタ、分子線エピタキシー技術を用いた半導体デバイスなど

    中核となる知識・技術・情報等:原子レベルでの表面観察技術および結晶成長技術

    交流のコメント:表面コーティングによる高付加価値化の共同研究を希望。